HiSORセミナー
微細加工共用設備「試作コインランドリ」の活動紹介
日時 2024年7月22日 （月） 14:00～15:30
場所 広島大学放射光科学研究所 4階 大会議室
講師 戸津 健太郎
(東北大学マイクロシステム融合研究開発センター)
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター「試作コインランドリ」は、半導体微細加工を用いた各種デバイス試作開発に関わる100台以上の装置を企業や大学などに開放し研究開発や実用化を支援しています。利用者は必要な時に必要な装置を利用できます。東北大学に蓄積されたノウハウも利用できます。2010年の開始以降、約400の機関（約8割は企業）が利用しており、複数の実用化事例もあります。本セミナーでは、「試作コインランドリ」の活動について、運営方法を中心に紹介します。
問合せ先 出田真一郎（放射光科学研究所）
